1.溶液可用作清洗剂、腐蚀剂，可与氟酸配制成缓冲溶液，MOS级主要用于中、大规模集成电路，BVⅢ级主要用于IC的生产。

2.用于稀有元素的萃取。在磨砂玻璃行业用作玻璃刻蚀剂， 也可用作金属表面的化学抛光剂，酿酒的消毒剂、防腐剂及纤维的媒染剂。

3.和配合亦可用于某些铝材的化学抛光。也可用于钛及硅片的蚀刻，用于钛的蚀刻需要在蚀刻液中添加或铬酐等氧化物质以防止脆的发生。